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科研机构
上海大学 [2]
内容类型
会议论文 [2]
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2013 [2]
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Solution-Based Metal Induced Crystallization of Amorphous Silicon Films
会议论文
ADVANCES IN MATERIALS AND MATERIALS PROCESSING, PTS 1-3, 2012-12-22
作者:
Qu, Xiaolei[1]
;
Jin, Jing[2]
;
Shi, Weimin[3]
;
Qiu, Yufeng[4]
;
Huang, Lu[5]
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提交时间:2019/04/30
two-step annealing
metal induced crystallization
poly-Si
Al-induced crystallization of amorphous silicon film
会议论文
FRONTIERS OF MANUFACTURING AND DESIGN SCIENCE III, PTS 1 AND 2, 2012-12-11
作者:
Zhou, Pingsheng[1]
;
Shi, Weimin[2]
;
Jin, Jing[3]
;
Qian, Jun[4]
;
Qu, Xiaolei[5]
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提交时间:2019/04/30
amorphous silicon
Al induced crystallization
polycrystalline silicon
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