×
验证码:
换一张
忘记密码?
记住我
CORC
首页
科研机构
检索
知识图谱
申请加入
托管服务
登录
注册
在结果中检索
科研机构
西安光学精密机械研究... [3]
内容类型
专利 [3]
发表日期
1998 [1]
1994 [1]
1990 [1]
×
知识图谱
CORC
开始提交
已提交作品
待认领作品
已认领作品
未提交全文
收藏管理
QQ客服
官方微博
反馈留言
浏览/检索结果:
共3条,第1-3条
帮助
已选(
0
)
清除
条数/页:
5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
55
60
65
70
75
80
85
90
95
100
排序方式:
请选择
作者升序
作者降序
题名升序
题名降序
发表日期升序
发表日期降序
提交时间升序
提交时间降序
Apparatus for semiconductor device fabrication diagnosis and prognosis
专利
专利号: US5719495, 申请日期: 1998-02-17, 公开日期: 1998-02-17
作者:
MOSLEHI, MEHRDAD M.
收藏
  |  
浏览/下载:8/0
  |  
提交时间:2019/12/23
Sensor for semiconductor device manufacturing process control
专利
专利号: US5293216, 申请日期: 1994-03-08, 公开日期: 1994-03-08
作者:
MOSLEHI, MEHRDAD M.
收藏
  |  
浏览/下载:11/0
  |  
提交时间:2019/12/23
Method and apparatus for real-time wafer temperature measurement using infrared pyrometry in advanced lamp-heated rapid thermal processors
专利
专利号: US4956538, 申请日期: 1990-09-11, 公开日期: 1990-09-11
作者:
MOSLEHI, MEHRDAD M.
收藏
  |  
浏览/下载:7/0
  |  
提交时间:2019/12/23
©版权所有 ©2017 CSpace - Powered by
CSpace