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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序作者升序作者降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序 Alignment measurement method for imprint lithography using moire fringe pattern 期刊论文 OPTICAL ENGINEERING, 2008, 卷号: 47, 期号: 11, 页码: 7 作者:  Shao, Jinyou;  Liu, Hongzhong;  Ding, Yucheng;  Wang, Li;  Lu, Binghen 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/18 imprint lithography  moire fringe  alignment  measurement