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减反膜制备工艺及其应用 期刊论文
《真空电子技术》, 2009, 页码: 23-29
作者:  罗海燕[1];  黄光周[1];  马国欣[1] 朱建明[2] 戴晋福[2]
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基于H—Si(100)表面上原子层沉积Al2O3的仿真研究 (EI收录) 期刊论文
《真空科学与技术学报》, 2009, 页码: 125-129
作者:  申灿[1];  黄光周[1];  马国欣[1];  叶位彬[1] 朱建明[2] 戴晋福[2]
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减反膜制备工艺及其应用 会议论文
07中国(华南地区)真空与光电技术论坛暨广东省真空学会学术年会, 广东东莞, 2007年12月09日
作者:  罗海燕 [1];  黄光周 [1];  马国欣 [1] 朱建明 [2] 戴晋福 [2]
收藏  |  浏览/下载:0/0  |  提交时间:2019/04/17
基于H-Si(100)表面上原子层沉积AlO的仿真 会议论文
07中国(华南地区)真空与光电技术论坛暨广东省真空学会学术年会, 广东东莞, 2007年12月09日
作者:  申灿 [1];  黄光周 [1];  马国欣 [1];  叶位彬 [1] 朱建明 [2] 戴晋福 [2]
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