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科研机构
华南理工大学 [4]
内容类型
会议论文 [2]
期刊论文 [2]
发表日期
2009 [2]
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减反膜制备工艺及其应用
期刊论文
《真空电子技术》, 2009, 页码: 23-29
作者:
罗海燕[1]
;
黄光周[1]
;
马国欣[1] 朱建明[2] 戴晋福[2]
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提交时间:2019/04/29
减反膜 制备工艺
反射率
透射率
基于H—Si(100)表面上原子层沉积Al2O3的仿真研究 (EI收录)
期刊论文
《真空科学与技术学报》, 2009, 页码: 125-129
作者:
申灿[1]
;
黄光周[1]
;
马国欣[1]
;
叶位彬[1] 朱建明[2] 戴晋福[2]
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提交时间:2019/04/29
原子层沉积
计算机仿真
三氧化二铝
生长速率
减反膜制备工艺及其应用
会议论文
07中国(华南地区)真空与光电技术论坛暨广东省真空学会学术年会, 广东东莞, 2007年12月09日
作者:
罗海燕 [1]
;
黄光周 [1]
;
马国欣 [1] 朱建明 [2] 戴晋福 [2]
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提交时间:2019/04/17
光学薄膜
减反膜 制备工艺
真空蒸镀 溅射镀
基于H-Si(100)表面上原子层沉积AlO的仿真
会议论文
07中国(华南地区)真空与光电技术论坛暨广东省真空学会学术年会, 广东东莞, 2007年12月09日
作者:
申灿 [1]
;
黄光周 [1]
;
马国欣 [1]
;
叶位彬 [1] 朱建明 [2] 戴晋福 [2]
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提交时间:2019/04/17
原子层沉积
计算机仿真
氧化铝 薄膜生长速率
蒙特卡罗法
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