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上海光学精密机械研... [47]
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Wavefront aberration measurement method for a hyper-NA lithographic projection lens based on principal component analysis of an aerial image
期刊论文
Appl. Optics, 2016, 卷号: 55, 期号: 12, 页码: 3192
作者:
Zhu, Boer
;
Wang, Xiangzhao
;
Li, Sikun
;
Yan, Guanyong
;
Shen, Lina
收藏
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浏览/下载:24/0
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提交时间:2017/12/25
Measuring Method of Polarization Aberration Based on Vector Aerial Image of Alternating Phase-shift Mask
期刊论文
光学学报, 2016, 卷号: 36, 期号: 8, 页码: 811003
作者:
Li SK(李思坤)
;
Zhang H(张恒)
;
Meng ZJ(孟泽江)
;
Zhu BE(诸波尔)
;
Yan GY(闫观勇)
收藏
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2017/12/25
Aberration Measurement Method for Hyper-NA Lithographic Projection Lens
期刊论文
光学学报, 2016, 卷号: 36, 期号: 1, 页码: 112002
作者:
Zhu BE(诸波尔)
;
Wang XC(王向朝)
;
Li SK(李思坤)
;
Yan GY(闫观勇)
;
Shen LN(沈丽娜)
收藏
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浏览/下载:21/0
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提交时间:2017/12/25
Wavefront aberration measurement method for a hyper-NA lithographic projection lens based on principal component analysis of an aerial image
期刊论文
Appl. Optics, 2016, 卷号: 55, 期号: 12, 页码: 3192
作者:
Zhu, Boer
;
Wang, Xiangzhao
;
Li, Sikun
;
Yan, Guanyong
;
Shen, Lina
收藏
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浏览/下载:23/0
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提交时间:2017/12/25
General analytical expressions for the impact of polarization aberration on lithographic imaging under linearly polarized illumination
期刊论文
J. Opt. Soc. Am. A-Opt. Image Sci. Vis., 2016, 卷号: 33, 期号: 6, 页码: 1112
作者:
Zhu, Boer
;
Shen, Lina
;
Wang, Xiangzhao
;
Li, Sikun
;
Yan, Guanyong
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2017/12/25
Aberration Measurement Method for Hyper-NA Lithographic Projection Lens
期刊论文
光学学报, 2016, 卷号: 36, 期号: 1, 页码: 112002
作者:
Li SK(李思坤)
;
Wang XC(王向朝)
;
Zhu BE(诸波尔)
;
Duan LF(段立峰)
;
Shen LN(沈丽娜)
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浏览/下载:27/0
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提交时间:2017/12/25
Pixelated source optimization for optical lithography via particle swarm optimization
期刊论文
J. Micro-Nanolithogr. MEMS MOEMS, 2016, 卷号: 15, 期号: 1
作者:
Wang, Lei
;
Li, Sikun
;
Wang, Xiangzhao
;
Yan, Guanyong
;
Yang, Chaoxing
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2017/12/25
Pixelated source optimization for optical lithography via particle swarm optimization
期刊论文
J. Micro-Nanolithogr. MEMS MOEMS, 2016, 卷号: 15, 期号: 1
作者:
Li, Sikun
;
Yang, Chaoxing
;
Wang, Lei
;
Yan, Guanyong
;
Wang, Xiangzhao
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2017/12/25
General analytical expressions for the impact of polarization aberration on lithographic imaging under linearly polarized illumination
期刊论文
J. Opt. Soc. Am. A-Opt. Image Sci. Vis., 2016, 卷号: 33, 期号: 6, 页码: 1112
作者:
Zhang, Heng
;
Shen, Lina
;
Wang, Xiangzhao
;
Li, Sikun
;
Yan, Guanyong
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2017/12/25
Measuring Method of Polarization Aberration Based on Vector Aerial Image of Alternating Phase-shift Mask
期刊论文
光学学报, 2016, 卷号: 36, 期号: 8, 页码: 811003
作者:
Yan GY(闫观勇)
;
Shen LN(沈丽娜)
;
Wang XC(王向朝)
;
Li SK(李思坤)
;
Zhu BE(诸波尔)
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提交时间:2017/12/25
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