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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序作者升序作者降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序 MEMS惯性器件的主要失效模式和失效机理研究 期刊论文 《传感器与微系统》, 2017, 卷号: 36, 页码: 1-5 作者:  陈俊光[1,2] 谷专元[1,3] 何春华[1] 黄钦文[1] 来萍[1] 恩云飞[1] 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2019/04/24 微机电系统(MEMS)惯性器件  可靠性  失效模式 失效机理   MEMS硅玻璃阳极键合工艺评价方法 期刊论文 《传感器与微系统》, 2017, 卷号: 36, 页码: 54-56 作者:  谷专元[1,2] 何春华[2,3];  何燕华[1] 赵前程[3];  张大成[3] 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2019/04/24 微机电系统(MEMS)加速度计  硅玻璃阳极键合  键合强度  剪切力   真空封装MEMS陀螺高温老化失效机理研究 期刊论文 《传感技术学报》, 2016, 卷号: 29, 页码: 1637-1642 作者:  谷专元[1,2];  何春华[2,3];  陈俊光[2];  赵前程[3];  张大成[3] 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2019/04/24 微机械陀螺 老化  真空封装 失效机理