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Thick SU8 microstructures prepared by broadband UV lithography and the applications in MEMS devices Thick SU8 microstructures prepared by broadband UV lithography and the applications in MEMS devices 期刊论文
2016, 页码: 182-187
作者:  李东玲[1];  温志渝[1];  尚正国[1];  佘引[1]
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Stress control of silicon nitride films deposited by plasma enhanced chemical vapor deposition Stress control of silicon nitride films deposited by plasma enhanced chemical vapor deposition 期刊论文
2016, 卷号: 0, 页码: 285-289
作者:  李东玲[1,2];  冯小飞[3];  温志渝[1,2];  尚正国[1,2];  佘引[1,2]
收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2019/11/28
Thick SU8 microstructures prepared by broadband UV lithography and the applications,in MEMS devices Thick SU8 microstructures prepared by broadband UV lithography and the applications,in MEMS devices 期刊论文
2016, 卷号: 0, 页码: 182-187
作者:  李东玲[1];  温志渝[1];  尚正国[1];  佘引[1]
收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2019/11/29
PC移动一体化指挥调度技术 期刊论文
测绘科学, 2016, 卷号: 41, 期号: 2
作者:  呙维;  张胜男;  朱欣焰;  温尚国
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硅尖阵列的制备及其在真空微电子加速度计中的应用（英文） Fabrication of silicon tip array and its application in vacuum microelectronic accelerometer 期刊论文
2015, 卷号: 0, 页码: 74-78
作者:  李东玲[1,2];  尚正国[1,2];  王胜强[1,2];  温志渝[1,2]
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PC移动一体化110快出警研究与系统实现 学位论文
2015
作者:  温尚国
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MEMS压电阵列振动能量收集器 The MEMS Vibration Energy Harvester with Piezoelectric Array 期刊论文
2014, 卷号: 27, 页码: 1033-1037
作者:  佘引[1,2,3];  温志渝[1,2,3];  赵兴强[1,2,3];  邓丽城[1,2,3];  尚正国[1,2,3]
收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/11/28
硅基氮化铝薄膜风致振动MEMS能量采集单元 Flow-induced-vibration MEMS energy harvesting unit based on AlN film in silicon 期刊论文
2013, 卷号: 21, 页码: 3058-3065
作者:  尚正国[1];  李东玲[1];  温志渝[1];  赵兴强[1]
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PECVD法低温制备二氧化硅薄膜(英文) 期刊论文
2013, 页码: 185-190
作者:  李东玲;  尚正国;  温志渝;  王胜强
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The fabrication of vibration energy harvester arrays based on AlN piezoelectric film The fabrication of vibration energy harvester arrays based on AlN piezoelectric film 期刊论文
2013, 卷号: 34, 页码: 83-86
作者:  Shang ZG(尚正国);  Li DL(李东玲);  Wen ZY(温志渝);  Zhao XQ(赵兴强)
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