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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 脉冲磁控溅射沉积微晶硅薄膜工艺研究 期刊论文 材料导报, 2012, 卷号: 第26卷 第22期, 页码: 47-50 作者:  梁凤敏，周灵平，彭坤，朱家俊，李德意 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2020/01/05 脉冲磁控溅射  微晶硅薄膜  结晶性能  沉积速率