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NbSiN薄膜的制备及光学性能研究 Preparation and Optical Property of NbSiN Films 期刊论文
2017, 卷号: 54, 页码: 310-316
作者:  张易君[1];  张粞程[1];  栾明昱[1];  曾陶[1];  黄佳木[1]
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