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	NbSiN薄膜的制备及光学性能研究 Preparation and Optical Property of NbSiN Films
	张易君[1]; 张粞程[1]; 栾明昱[1]; 曾陶[1]; 黄佳木[1]
	2017
卷号	54页码:310-316
URL标识	查看原文
内容类型	期刊论文
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/3027958
专题	重庆大学
推荐引用方式 GB/T 7714	张易君[1],张粞程[1],栾明昱[1],等. NbSiN薄膜的制备及光学性能研究 Preparation and Optical Property of NbSiN Films[J],2017,54:310-316.
APA	张易君[1],张粞程[1],栾明昱[1],曾陶[1],&黄佳木[1].(2017).NbSiN薄膜的制备及光学性能研究 Preparation and Optical Property of NbSiN Films.,54,310-316.
MLA	张易君[1],et al."NbSiN薄膜的制备及光学性能研究 Preparation and Optical Property of NbSiN Films".54(2017):310-316.

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