NbSiN薄膜的制备及光学性能研究 Preparation and Optical Property of NbSiN Films | |
张易君[1]; 张粞程[1]; 栾明昱[1]; 曾陶[1]; 黄佳木[1] | |
2017 | |
卷号 | 54页码:310-316 |
URL标识 | 查看原文 |
内容类型 | 期刊论文 |
URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/3027958 |
专题 | 重庆大学 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 张易君[1],张粞程[1],栾明昱[1],等. NbSiN薄膜的制备及光学性能研究 Preparation and Optical Property of NbSiN Films[J],2017,54:310-316. |
APA | 张易君[1],张粞程[1],栾明昱[1],曾陶[1],&黄佳木[1].(2017).NbSiN薄膜的制备及光学性能研究 Preparation and Optical Property of NbSiN Films.,54,310-316. |
MLA | 张易君[1],et al."NbSiN薄膜的制备及光学性能研究 Preparation and Optical Property of NbSiN Films".54(2017):310-316. |
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