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光集積デバイスの製造方法 专利
专利号: JP1998150241A, 申请日期: 1998-06-02, 公开日期: 1998-06-02
作者:  板垣 卓士;  鈴木 大輔;  三橋 豊
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光半導体装置の製造方法 专利
专利号: JP1998135563A, 申请日期: 1998-05-22, 公开日期: 1998-05-22
作者:  越智 誠司;  巳浪 裕之;  板垣 卓士
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選択MOCVD成長法による成膜方法 专利
专利号: JP1996264454A, 申请日期: 1996-10-11, 公开日期: 1996-10-11
作者:  板垣 卓士;  竹見 政義;  早藤 紀生
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