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Investigation on internal stress of SU-8 photoresist film 会议论文
11th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments, ISMTII 2013, Aachen, Germany, 2013-07-01
作者:  Zhang, Xiaolei;  Du, Liqun;  Zhu, Shenmiao
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后烘温度对SU-8光刻胶热溶胀性及内应力的影响 期刊论文
光学精密工程, 2008, 卷号: 16, 页码: 500-504
作者:  杜立群;  朱神渺;  喻立川
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UV-LIGA工艺中SU-8光刻胶的热溶胀性研究 期刊论文
压电与声光, 2008, 卷号: 30, 页码: 621-623
作者:  杜立群;  朱神渺;  刘冲
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微电铸器件铸层均匀性的研究 期刊论文
光学精密工程, 2007, 卷号: 15, 页码: 69-75
作者:  杜立群;  刘海军;  秦江;  朱神渺
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SU-8胶紫外光刻的尺寸精度研究 期刊论文
光学精密工程, 2007, 卷号: 15, 页码: 447-452
作者:  杜立群;  秦江;  刘冲;  朱神渺;  李园园
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微机电系统中SU-8厚光刻胶的内应力研究 期刊论文
光学精密工程, 2007, 卷号: 15, 页码: 1377-1382
作者:  杜立群;  朱神渺
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一种三维电铸微结构的制作方法 专利
申请日期: 2007-01-01, 公开日期: 2008-03-26
作者:  杜立群;  刘冲;  刘军山;  朱神渺;  刘文涛
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模糊神经网络在SU-8胶内应力研究中的应用 期刊论文
纳米技术与精密工程, 2007, 卷号: 5, 页码: 323-326
作者:  朱神渺;  杜立群;  刘冲;  喻立川;  王治宏
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Numerical and experimental study on SU-8UV photolithography 会议论文
3rd International Symposium on Advanced Optical Manufacturing and Testing Technologies, Chengdu, PEOPLES R CHINA, 2007-07-08
作者:  Du Liqun;  Zhu Shenmiao;  Qin, Jiang;  Liu, Chong
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UV-LIGA工艺中SU-8胶内应力和热溶胀性研究 学位论文
: 大连理工大学, 2007
作者:  朱神渺
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