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科研机构
大连理工大学 [14]
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会议论文 [4]
专利 [1]
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2014 [1]
2008 [2]
2007 [7]
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Investigation on internal stress of SU-8 photoresist film
会议论文
11th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments, ISMTII 2013, Aachen, Germany, 2013-07-01
作者:
Zhang, Xiaolei
;
Du, Liqun
;
Zhu, Shenmiao
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提交时间:2019/12/11
后烘温度对SU-8光刻胶热溶胀性及内应力的影响
期刊论文
光学精密工程, 2008, 卷号: 16, 页码: 500-504
作者:
杜立群
;
朱神渺
;
喻立川
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提交时间:2019/12/27
SU-8光刻胶
微电铸
热溶胀性
内应力
UV-LIGA工艺中SU-8光刻胶的热溶胀性研究
期刊论文
压电与声光, 2008, 卷号: 30, 页码: 621-623
作者:
杜立群
;
朱神渺
;
刘冲
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提交时间:2019/12/27
UV-LIGA
SU-8胶
微电铸
热溶胀性
微电铸器件铸层均匀性的研究
期刊论文
光学精密工程, 2007, 卷号: 15, 页码: 69-75
作者:
杜立群
;
刘海军
;
秦江
;
朱神渺
收藏
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提交时间:2019/12/27
铸层均匀性
Fick第二定律
正负脉冲电流
SU-8胶紫外光刻的尺寸精度研究
期刊论文
光学精密工程, 2007, 卷号: 15, 页码: 447-452
作者:
杜立群
;
秦江
;
刘冲
;
朱神渺
;
李园园
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提交时间:2019/12/27
SU-8胶
菲涅耳衍射
紫外光刻
尺寸精度
MATLAB
微机电系统中SU-8厚光刻胶的内应力研究
期刊论文
光学精密工程, 2007, 卷号: 15, 页码: 1377-1382
作者:
杜立群
;
朱神渺
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2019/12/27
SU-8
内应力测量
基片曲率法
Stoney 公式
一种三维电铸微结构的制作方法
专利
申请日期: 2007-01-01, 公开日期: 2008-03-26
作者:
杜立群
;
刘冲
;
刘军山
;
朱神渺
;
刘文涛
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提交时间:2019/12/27
模糊神经网络在SU-8胶内应力研究中的应用
期刊论文
纳米技术与精密工程, 2007, 卷号: 5, 页码: 323-326
作者:
朱神渺
;
杜立群
;
刘冲
;
喻立川
;
王治宏
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提交时间:2019/12/27
SU-8胶
内应力
正交实验
BP神经网络
Numerical and experimental study on SU-8UV photolithography
会议论文
3rd International Symposium on Advanced Optical Manufacturing and Testing Technologies, Chengdu, PEOPLES R CHINA, 2007-07-08
作者:
Du Liqun
;
Zhu Shenmiao
;
Qin, Jiang
;
Liu, Chong
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提交时间:2019/12/27
SU-8 photoresist
UV-lithography
Fresnel diffraction
dimensional tolerance
development model
UV-LIGA工艺中SU-8胶内应力和热溶胀性研究
学位论文
: 大连理工大学, 2007
作者:
朱神渺
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提交时间:2019/12/27
SU-8胶
BP神经网络
热溶胀性
UV-LIGA工艺
光刻胶
内应力
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