| UV-LIGA工艺中SU-8光刻胶的热溶胀性研究 | |
| 杜立群; 朱神渺; 刘冲 | |
| 刊名 | 压电与声光
 |
| 2008 | |
| 卷号 | 30页码:621-623 |
| 关键词 | UV-LIGA SU-8胶 微电铸 热溶胀性 |
| ISSN号 | 1004-2474 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5604116 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 作者单位 | 1.大连理工大学,精密与特种加工教育部重点实验室,辽宁,大连,116024 2.大连理工大学,辽宁省微纳米技术及系统重点实验室,辽宁,大连,116024 3.大连理工大学,辽宁省微纳米技术及系统重点实验室,辽宁,大连,116024 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 杜立群,朱神渺,刘冲. UV-LIGA工艺中SU-8光刻胶的热溶胀性研究[J]. 压电与声光,2008,30:621-623. |
| APA | 杜立群,朱神渺,&刘冲.(2008).UV-LIGA工艺中SU-8光刻胶的热溶胀性研究.压电与声光,30,621-623. |
| MLA | 杜立群,et al."UV-LIGA工艺中SU-8光刻胶的热溶胀性研究".压电与声光 30(2008):621-623. |
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