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注氮工艺对SIMOX器件电特性的影响 期刊论文
半导体学报, 2005, 期号: 04
张国强; 刘忠立; 李宁; 范楷; 郑中山; 张恩霞; 易万兵; 陈猛; 王曦
收藏  |  浏览/下载:15/0  |  提交时间:2012/01/06
埋氧层注氮工艺对部分耗尽SOI nMOSFET特性的影响 期刊论文
物理学报, 2005, 期号: 01
郑中山; 刘忠立; 张国强; 李宁; 范楷; 张恩霞; 易万兵; 陈猛; 王曦
收藏  |  浏览/下载:15/0  |  提交时间:2012/01/06
注氮工艺对SIMOX器件电特性的影响 期刊论文
半导体学报, 2005, 卷号: 26, 期号: 4, 页码: 835-839
张国强; 刘忠立; 李宁; 范楷; 郑中山; 张恩霞; 易万兵; 陈猛; 王曦
收藏  |  浏览/下载:12/0  |  提交时间:2010/11/23
埋氧层注氮工艺对部分耗尽SOI nMOSFET特性的影响 期刊论文
物理学报, 2005, 卷号: 54, 期号: 1, 页码: 348-353
郑中山; 刘忠立; 张国强; 李宁; 范楷; 张恩霞; 易万兵; 陈猛; 王曦
收藏  |  浏览/下载:26/0  |  提交时间:2010/11/23
注氮剂量对SIMON材料性能影响的研究 期刊论文
功能材料与器件学报, 2004, 期号: 04
张恩霞; 孙佳胤; 易万兵; 陈静; 金波; 陈猛; 张正选; 张国强; 王曦
收藏  |  浏览/下载:12/0  |  提交时间:2012/01/06
具有复合埋层的新型SIMON材料的制备 期刊论文
半导体学报, 2004, 期号: 07
易万兵; 陈猛; 张恩霞; 刘相华; 陈静; 董业民; 金波; 刘忠立; 王曦
收藏  |  浏览/下载:8/0  |  提交时间:2012/01/06
具有复合埋层的新型SIMON材料的制备 期刊论文
半导体学报, 2004, 卷号: 25, 期号: 7, 页码: 814-818
易万兵; 陈猛; 张恩霞; 刘相华; 陈静; 董业民; 金波; 刘忠立; 王曦
收藏  |  浏览/下载:8/0  |  提交时间:2010/11/23
氧氮共注SOI材料结构与注氮剂量研究 会议论文
第十三届全国半导体集成电路、硅材料学术会, 2003
张恩霞; 易万兵; 陈孟; 张正选; 王曦; 张国强; 刘忠立; 范凯; 李宁
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