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西安光学精密机械研究... [2]
内容类型
专利 [2]
发表日期
2017 [2]
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由物理气相沉积形成的氮化铝缓冲层和活性层
专利
专利号: CN104428441B, 申请日期: 2017-04-12, 公开日期: 2017-04-12
作者:
朱鸣伟
;
奈格·B·帕蒂班德拉
;
汪荣军
;
维韦卡·阿格拉沃尔
;
阿纳塔·苏比玛尼
收藏
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提交时间:2019/12/26
由物理气相沉积形成的氮化铝缓冲层和活性层
专利
专利号: CN104428441B, 申请日期: 2017-04-12, 公开日期: 2017-04-12
作者:
朱鸣伟
;
奈格·B·帕蒂班德拉
;
汪荣军
;
维韦卡·阿格拉沃尔
;
阿纳塔·苏比玛尼
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提交时间:2019/12/26
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