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磁控溅射法制备TiCoSb半导体薄膜 专利
申请日期: 2013-01-01,
作者:  秦娟[1];  孙纽一[2];  王国华[3];  张敏[4];  吴纯清[5]
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一种磁控溅射用复合靶材的设计方法 专利
申请日期: 2013-01-01,
作者:  秦娟[1];  单荣[2];  孙纽一[3];  王国华[4];  吴纯清[5]
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