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	磁控溅射法制备TiCoSb半导体薄膜
	秦娟[1]; 孙纽一[2]; 王国华[3]; 张敏[4]; 吴纯清[5]; 史伟民[6]
	2013
权利人	上海大学
URL标识	查看原文
申请日期	2013-05-16
内容类型	专利
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2287876
专题	上海大学
作者单位	上海大学
推荐引用方式 GB/T 7714	秦娟[1],孙纽一[2],王国华[3],等. 磁控溅射法制备TiCoSb半导体薄膜. 2013-01-01.

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