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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 新型高频硅基超声雾化器的结构仿真及制作 期刊论文 2017, 卷号: 39, 期号: 2, 页码: 260-264 作者:  张轲[1,2];  苗斌[2,3];  丁祥桢[2,5];  顾智琦[2,6];  潘天龙[7] 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2020/01/04 高频硅基超声雾化器  有限元分析  谐振频率  变幅杆  微机电系统   毫米级无源微悬臂梁力值传感器件设计与制作 期刊论文 2016, 卷号: 38, 期号: 4, 页码: 562-565 作者:  苗斌[1,3];  李加东[1,2,3];  张轲[1,4];  吴东岷[1,3] 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2020/01/04 力值计量  悬臂梁  弹性系数  微机电系统  绝缘衬底上的硅(SOI)   原子力显微镜探针批量制备工艺分析 期刊论文 2016, 卷号: 53, 期号: 2, 页码: 119-123 作者:  李加东[1,2,3];  苗斌[1,2];  张轲[1,4];  吴东岷[1,2] 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2019/12/31 原子力显微镜(AFM)  探针  绝缘衬底上的硅(SOI)  自锐式  曲率半径