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	毫米级无源微悬臂梁力值传感器件设计与制作
	苗斌[1,3]; 李加东[1,2,3]; 张轲[1,4]; 吴东岷[1,3]
	2016
卷号	38期号:4页码:562-565
关键词	力值计量 悬臂梁 弹性系数 微机电系统 绝缘衬底上的硅(SOI)
URL标识	查看原文
内容类型	期刊论文
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/6394851
专题	山东师范大学
作者单位	1.[1]中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所国际实验室,江苏苏州215123 2.[2]中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,吉林长春130033 3.[3]中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所纳米器件与应用重点实验室,江苏苏州215123 4.[4]山东师范大学物理与电子科学学院,山东济南250014
推荐引用方式 GB/T 7714	苗斌[1,3],李加东[1,2,3],张轲[1,4],等. 毫米级无源微悬臂梁力值传感器件设计与制作[J],2016,38(4):562-565.
APA	苗斌[1,3],李加东[1,2,3],张轲[1,4],&吴东岷[1,3].(2016).毫米级无源微悬臂梁力值传感器件设计与制作.,38(4),562-565.
MLA	苗斌[1,3],et al."毫米级无源微悬臂梁力值传感器件设计与制作".38.4(2016):562-565.

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