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科研机构
山东师范大学 [3]
内容类型
期刊论文 [3]
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2017 [1]
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新型高频硅基超声雾化器的结构仿真及制作
期刊论文
2017, 卷号: 39, 期号: 2, 页码: 260-264
作者:
张轲[1,2]
;
苗斌[2,3]
;
丁祥桢[2,5]
;
顾智琦[2,6]
;
潘天龙[7]
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浏览/下载:4/0
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提交时间:2020/01/04
高频硅基超声雾化器
有限元分析
谐振频率
变幅杆
微机电系统
毫米级无源微悬臂梁力值传感器件设计与制作
期刊论文
2016, 卷号: 38, 期号: 4, 页码: 562-565
作者:
苗斌[1,3]
;
李加东[1,2,3]
;
张轲[1,4]
;
吴东岷[1,3]
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2020/01/04
力值计量
悬臂梁
弹性系数
微机电系统
绝缘衬底上的硅(SOI)
原子力显微镜探针批量制备工艺分析
期刊论文
2016, 卷号: 53, 期号: 2, 页码: 119-123
作者:
李加东[1,2,3]
;
苗斌[1,2]
;
张轲[1,4]
;
吴东岷[1,2]
收藏
  |  
浏览/下载:3/0
  |  
提交时间:2019/12/31
原子力显微镜(AFM)
探针
绝缘衬底上的硅(SOI)
自锐式
曲率半径
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