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电弧离子镀TiN TiAlN薄膜的制备及高温退火研究 期刊论文
兰州大学学报/Lanzhou Daxue Xuebao/Journal of Lanzhou University, 1998, 卷号: 34, 期号: 3, 页码: 4
作者:  陈光华;  杨今漫;  谢二庆;  北京工业大学应用物理系
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