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An Electrostatic Vertical Comb-Drive Micromirror with Self-aligned Assembly 会议论文
2017 IEEE 12TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANO/MICRO ENGINEERED AND MOLECULAR SYSTEMS (NEMS), 2017-01-01
作者:  Fan, Yanjun[1];  Cui, Can[2];  Yu, Huijun[3];  Shen, Wenjiang[4];  Wang, Zhi[5]
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Silicon-on-insulator out-of-plane electrostatic actuator with in situ capacitive position sensing 期刊论文
journal of micro nanolithography mems and moems, 2012
Wang, Jiankun; Yang, Zhenchuan; Yan, Guizhen
收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2015/11/13
Micro torsion mirror actuated by compound electrostatic driving structure 期刊论文
sensors and actuators a physical, 2007
Wu, W. G.; Chen, Q. H.; Yan, G. Z.; Yin, D. Q.; Chen, Z. Y.; Hao, Y. L.; Xu, A. S.; Wang, Y. Y.
收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2015/11/10
复合静电驱动结构致动的内旋转微镜 期刊论文
半导体学报, 2005
吴文刚; 陈庆华; 尹冬青; 闫桂珍; 陈章渊; 郝一龙; 徐安士
收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/11/12
Hybrid electrostatic actuator for micromirror tilting 其他
2005-01-01
Wu, WG; Chen, QH; Yan, GZ; Hao, YL; Yin, DQ; Chen, ZY; Xu, AS
收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2015/11/13
Hybrid electrostatic actuator for micromirror tilting 其他
2005-01-01
Wu, W.G.; Chen, Q.H.; Yan, G.Z.; Hao, Y.L.; Yin, D.Q.; Chen, Z.Y.; Xu, A.S.
收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2015/11/13
Into-plane rotating micromirror actuated by a hybrid electrostatic driving structure 期刊论文
pan tao ti hsueh paochinese journal of semiconductors, 2005
Wu, Wengang; Chen, Qinghua; Yin, Dongqing; Yan, Guizhen; Chen, Zhangyuan; Hao, Yilong; Xu, Anshi
收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/11/13
Novel optical torsion-mirror components for fiber sensing or networking applications 其他
2003-01-01
Wu, WG; Li, DC; Yuan, Y; Yan, GZ; Hao, YL; Jin, SJ
收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/11/13
Scanning vertical cavity surface emitting laser array capable of page-width image scan 专利
专利号: US6257739, 申请日期: 2001-07-10, 公开日期: 2001-07-10
作者:  SUN, DECAI;  TRAN, ALEX T.
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