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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 低能电子束制备硅基纳米薄膜微结构研究 期刊论文 真空, 2007, 卷号: 44, 期号: 6, 页码: 35-38 陈炯枢; 陈学康; 刘相; 刘建喜 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2013/11/01 电子束直写曝光  选择性化学沉积  图案化  electron beam direct- write exposure  selective chemical deposition  patternization