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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 光刻投影物镜中X-Y向柔性调节机构设计 期刊论文 光电工程, 2015, 期号: 06, 页码: 50-56 作者:  陈华男;  郭抗;  张玲花;  刘健;  尚红波 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2016/07/06 光刻投影物镜  X-Y向柔性调节机构  减速机构  柔性铰链   光刻物镜偏心调节机构抑制耦合误差设计 期刊论文 光子学报, 2015, 期号: 09, 页码: 35-39 作者:  张德福;  李显凌;  东立剑;  孙振 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2016/07/06 耦合误差  光刻  物镜  偏心调节机构  柔度矩阵法