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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 UMG多晶硅片的少子寿命 期刊论文 2013 潘淼; 郑兰花; 武智平; 罗学涛; 陈文辉; 李锦堂; 陈朝 收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2016/05/16 冶金法硅片  少子寿命  磷吸杂  热氧化  快速热处理  UMG silicon wafer  minority carrier lifetime  phosphorus gettering  thermal oxidation  rapid thermal annealing