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科研机构
近代物理研究所 [2]
内容类型
学位论文 [1]
期刊论文 [1]
发表日期
2009 [2]
学科主题
核技术及应用 [1]
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真空室内表面镀TiZrV抽气层的性能研究
期刊论文
真空科学与技术学报;Journal of Vacuum Science and Technology, 2009, 卷号: 2009, 期号: 06, 页码: 678-681
作者:
马向利
;
胡振军
;
郭迪周
;
侯生军
;
蒙峻
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提交时间:2010/10/29
直流磁控溅射
Tizrv抽气层
低温激活
压力分布
在真空室内表面形成非蒸发吸气剂膜(TiZrV)抽气层的特性研究
学位论文
2009
蒙峻
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提交时间:2010/01/24
非蒸发型吸气剂
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