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真空室内表面镀TiZrV抽气层的性能研究 期刊论文
真空科学与技术学报;Journal of Vacuum Science and Technology, 2009, 卷号: 2009, 期号: 06, 页码: 678-681
作者:  马向利;  胡振军;  郭迪周;  侯生军;  蒙峻
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在真空室内表面形成非蒸发吸气剂膜(TiZrV)抽气层的特性研究 学位论文
2009
蒙峻
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