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一种VCSEL芯片制备方法 专利
专利号: CN110190514A, 申请日期: 2019-08-30, 公开日期: 2019-08-30
作者:  田宇;  韩效亚;  吴真龙;  杜石磊
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一种Bragg反射镜结构设计方法 专利
专利号: CN109459810A, 申请日期: 2019-03-12, 公开日期: 2019-03-12
作者:  陈炜;  朱京平
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Two-dimensional fluid simulation of a radio frequency capacitively coupled plasma in SiH4/N-2/O-2 期刊论文
PHYSICS OF PLASMAS, 2018, 卷号: 25
作者:  Jia, Wen-Zhu;  Liu, Rui-Qiang;  Wang, Xi-Feng;  Liu, Xiang-Mei;  Song, Yuan-Hong
收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2019/12/02
Controllable a-Si:H/c-Si interface passivation by residual SiH4 molecules in H-2 plasma 期刊论文
SOLAR ENERGY MATERIALS AND SOLAR CELLS, 2018, 卷号: 174, 页码: 233-239
作者:  Liu, Wenzhu;  Zhang, Liping;  Cong, Shiyuan;  Chen, Renfang;  Wu, Zhuopeng
收藏  |  浏览/下载：41/0  |  提交时间：2019/12/02
pMOSFETs Featuring ALD W Filling Metal Using SiH4 and B2H6 Precursors in 22 nm Node CMOS Technology 期刊论文
Nanoscale Research Letters, 2017
作者:  Zhao C(赵超);  Wang GL(王桂磊);  Luo J(罗军);  Liu JB(刘金彪);  Yang T(杨涛)
收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2018/07/05
Two-dimensional fluid simulation on transient behavior and plasma uniformity in pulsed RF CCP sustained in SiH4/N-2/O-2 期刊论文
JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS, 2017, 卷号: 50
作者:  Jia, Wen-Zhu;  Wang, Xi-Feng;  Song, Yuan-Hong;  Wang, You-Nian
收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2019/12/02
射频容性耦合SiH4/Ar放电中反转电场及电子能量分布的模拟 会议论文
第十八届全国等离子体科学技术会议, 中国陕西西安, 2017-07-01
作者:  王喜凤;  宋远红;  戴忠玲;  王友年
收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2019/12/02
二维流体模拟SiH_4/N_2/O_2放电中均匀性改善和前驱物的研究 会议论文
第十八届全国等离子体科学技术会议, 中国陕西西安, 2017-07-01
作者:  贾文柱
收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2019/12/02
Hybrid simulation of electron energy distributions and plasma characteristics in pulsed RF CCP sustained in Ar and SiH4/Ar discharges 期刊论文
PHYSICS OF PLASMAS, 2017, 卷号: 24, 页码: -
作者:  Wang, Xi-Feng;  Jia, Wen-Zhu;  Song, Yuan-Hong;  Zhang, Ying-Ying;  Dai, Zhong-Ling
收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2019/12/03
Improved short-circuit current density of a-Si:H thin film solar cells with n-type silicon carbide layer 期刊论文
JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE-MATERIALS IN ELECTRONICS, 2017, 卷号: 28, 期号: 5, 页码: 3955-3961
作者:  Yang, Weiguang;  Duan, Juanmei;  Wang, Weiyan;  Li, Hongjiang;  Huang, Jinhua
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