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Systematic Study of the SiOx Film with Different Stoichiometry by Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition and Its Application in SiOx/SiO₂ Super-Lattice 期刊论文
Nanomaterials (Basel, Switzerland), 2019, 卷号: 9, 页码: 1-13
作者:  Ma Hong-Ping[1];  Yang Jia-He[2];  Yang Jian-Guo[3];  Zhu Li-Yuan[4];  Huang Wei[5]
收藏  |  浏览/下载：37/0  |  提交时间：2019/04/22
原子层沉积生长电学性质可调ZnO薄膜工艺 期刊论文
微纳电子技术, 2016
作者:  张思敏;  夏洋;  程嵩
收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2017/05/09
PEALD沉积温度对AlN的结构和表面特性的影响（英文） 期刊论文
红外与激光工程, 2016, 期号: 4, 页码: 219-222
作者:  陈芳;  方铉;  王双鹏;  牛守柱;  方芳
收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2017/09/17
Effect of deposition temperature on the structural and surface properties of AlN by plasma enhanced atomic layer deposition 期刊论文
Hongwai yu Jiguang Gongcheng/Infrared and Laser Engineering, 2016, 卷号: 45, 期号: 4
作者:  Chen, F.;  X. Fang;  S. Wang;  S. Niu;  F. Fang
收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2017/09/11
Compatibility of AlN/SiNx Passivation With LPCVD-SiNx Gate Dielectric in GaN-Based MIS-HEMT 期刊论文
IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS, 2016, 卷号: 37, 期号: 3
作者:  Hua, MY;  Lu, YY;  Liu, SH;  Liu, C;  Fu, K(付凯)
收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2017/03/11
Novel Vertical GaN Power Devices Using PEALD-AlN/GaN Heterostructure 会议论文
作者:  Yang, Song;  Lei, Lei;  Yu, Kun;  Wang, Xuhui;  Zhou, Ting
收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/11/26
The "pure Marriage" between 3D Printing and Well-Ordered Nanoarrays by Using PEALD Assisted Hydrothermal Surface Engineering 期刊论文
ACS Applied Materials and Interfaces, 2016, 卷号: 8, 期号: 13
作者:  Xue, Chaowen;  Shi, Xiaotong;  Fang, Xuan;  Tao, Haiyan;  Zhu, Hui
收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2019/12/05
The "Pure Marriage" between 3D Printing and Well-Ordered Nanoarrays by Using PEALD Assisted Hydrothermal Surface Engineering 期刊论文
ACS APPLIED MATERIALS & INTERFACES, 2016, 卷号: 8, 期号: 13
作者:  Xue, Chaowen;  Shi, Xiaotong;  Fang, Xuan;  Tao, Haiyan;  Zhu, Hui
收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2019/12/05
可变电场调制的原子层沉积（E-PEALD)设备研发 学位论文
: 中国科学院大学, 2015
作者:  孙铁成
收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2017/09/25
Effects of rapid thermal annealing on the properties of aln films deposited by peald on algan/gan heterostructures 期刊论文
Rsc advances, 2015, 卷号: 5, 期号: 47, 页码: 37881-37886
作者:  Cao, Duo;  Cheng, Xinhong;  Xie, Ya-Hong;  Zheng, Li;  Wang, Zhongjian
收藏  |  浏览/下载：47/0  |  提交时间：2019/05/10

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