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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Notching效应在MEMS单步干法制造工艺中的应用(英文) 期刊论文 http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=NMJM201002015&dbname=CJFQ2010, 2012, 2012 谢建兵; 苑伟政; 常洪龙 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2017/06/19 notching效应  干法释放  绝缘体上硅  微机电系统   反应离子深刻蚀中加强热传递和抑制Notching效应的方法 期刊论文 电子学报, 2010 丁海涛; 杨振川; 闫桂珍 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2015/11/12 反应离子深刻蚀 热传递 notching效应   ICP体硅深刻蚀中侧壁形貌控制的研究 其他 2005-01-01 陈兢 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/11/11 刻蚀侧壁形貌  电感耦合等离子  深反应离子刻蚀  微机电系统  Notching效应  Bowing效应   ICP体硅深刻蚀中侧壁形貌控制的研究 期刊论文 中国机械工程, 2005 陈兢 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2015/11/11 微机电系统  电感耦合等离子(ICP)刻蚀  深反应离子刻蚀(DRIE)  侧壁形貌  Notching效应  Bowing效应