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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 微桥法镍膜的弹性模量和残余应力测量 期刊论文 电子元件与材料, 2004, 卷号: 23, 期号: 12, 页码: 13-16 作者:  王明军;  周勇;  陈吉安;  杨春生;  张亚民 收藏  |  浏览/下载：1032/18  |  提交时间：2010/05/03 材料测量与分析技术  镍膜微桥  MEMS技术  弹性模量  残余应力   微桥结构Ni膜杨氏模量和残余应力研究 期刊论文 现代科学仪器, 2004, 期号: 4, 页码: 24-27 作者:  王莉;  张泰华 收藏  |  浏览/下载：1252/8  |  提交时间：2010/05/03 Ni膜微桥  MEMS技术  力学性能   微桥结构镍膜的弹性模量和残余应力研究 期刊论文 微细加工技术, 2003, 期号: 3, 页码: 66-71 作者:  张泰华;  王莉 收藏  |  浏览/下载：969/2  |  提交时间：2010/05/03 Ni膜微桥  MEME技术  力学特性