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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Preparation of cubic boron nitride films by MW-ECR CVD 期刊论文 Gongneng Cailiao/Journal of Functional Materials, 2006, 卷号: 37, 期号: SUPPL., 页码: 208-210 作者:  Gao, Zhi-Hua;  Chen, Guang-Hua;  Li, Zhi-Zhong;  Deng, Jin-Xiang;  Ding, Yi 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2016/10/21 Hydrogen effects  Nitrogen effects  Reaction gas   热丝辅助MW-ECRCVD制备a-Si:H薄膜及硅-氢键合模式变化的研究 会议论文 全国薄膜技术学术研讨会 作者:  张文理;  陈光华;  何斌;  朱秀红;  马占洁 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/06/24 a-Si:H薄膜  沉积速率  键合模式  光致衰退   MW-ECR CVD制备立方氮化硼薄膜 会议论文 2006年全国功能材料学术年会专辑 作者:  郜志华;  陈光华;  李志中;  邓金祥;  丁毅 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/06/24 立方氮化硼  MW-ECR CVD  BF3-H2-N2-Ar  气体系统   采用热丝辅助MW-ECRCVD法制备高性能a-Si:H薄膜 会议论文 TFC'05全国薄膜技术学术研讨会 作者:  张文理;  陈光华;  何斌;  朱秀红;  马占洁 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2015/06/24 MW-ECRCVD法  a-Si:H  热丝  氢化非晶硅  电池研究  平板显示器  光敏性  能量转化率  分解率  核心材料