MW-ECR CVD制备立方氮化硼薄膜

	MW-ECR CVD制备立方氮化硼薄膜
	郜志华; 陈光华; 李志中; 邓金祥; 丁毅
	2006-07-01
会议名称	2006年全国功能材料学术年会专辑
关键词	立方氮化硼 MW-ECR CVD BF3-H2-N2-Ar 气体系统
页码	3
中文摘要	采用微波电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积(MW-ECR CVD)法,BF3-H2-N2-Ar为反应气体,制备立方氮化硼薄膜。应用傅立叶红外光谱 (FTIR),定性地研究通入的H2和N2流量对制备的立方氮化硼薄膜结构的影响。发现在BF3-H2-N2-Ar 气体系统中,H2对立方氮化硼薄膜结构的影响比较明显,而N2的影响没有那么明显。并对MW-ECR CVD 制备立方氮化硼薄膜的结构特性进行了初步分析。
会议录	2006年全国功能材料学术年会专辑
语种	中文
内容类型	会议论文
源URL	[http://202.201.7.4/handle/262010/107824]
专题	物理科学与技术学院_会议论文
推荐引用方式 GB/T 7714	郜志华,陈光华,李志中,等. MW-ECR CVD制备立方氮化硼薄膜[C]. 见:2006年全国功能材料学术年会专辑.