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科研机构
北京大学 [2]
高能物理研究所 [2]
内容类型
期刊论文 [4]
发表日期
2001 [4]
学科主题
Engineerin... [1]
Physics [1]
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New type X-ray mask fabricated using inductively coupled plasma deepetching
期刊论文
microsystem technologies, 2001
Chen, D
;
Lei, W
;
Wang, S
;
Li, C
;
Guo, X
;
Mao, H
;
Zhang, D
;
Yi, F
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提交时间:2015/11/12
LITHOGRAPHY
Study on new type LIGA mask fabrication technique
期刊论文
high energy physics and nuclear physics chinese edition, 2001
Chen, D
;
Zhu, J
;
Lei, W
;
Wang, S
;
Zhang, DC
;
Yi, FT
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提交时间:2015/11/16
LIGA mask
ICP deepetching
LIGA technique
X-RAY-LITHOGRAPHY
DEEP
New type X-ray mask fabricated using inductively coupled plasma deepetching
期刊论文
MICROSYSTEM TECHNOLOGIES, 2001, 卷号: 7, 期号: 2, 页码: #REF!
作者:
Chen, D
;
Lei, W
;
Wang, S
;
Li, C
;
Guo, X
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提交时间:2016/04/12
Study on new type LIGA mask fabrication technique
期刊论文
HIGH ENERGY PHYSICS AND NUCLEAR PHYSICS-CHINESE EDITION, 2001, 卷号: 25, 页码: #REF!
作者:
Chen, D
;
Zhu, J
;
Lei, W
;
Wang, S
;
Zhang, DC
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提交时间:2016/04/12
LIGA mask
ICP deepetching
LIGA technique
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