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| 一种硅深刻蚀中抑制Lag效应的新方法 期刊论文
http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=HJZJ201003021&dbname=CJFQ2010, 2012, 2012
张洪海; 苑伟政; 马志波
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| 高性能硅基锗光电探测器的研制 学位论文
博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2011
薛海韵
收藏 | 浏览/下载：332/0 | 提交时间：2011/06/01
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| 纳米级电子束光刻技术及ICP深刻蚀工艺技术的研究 期刊论文
2010, 2010
李群庆; 张立辉; 陈墨; 范守善
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| 深刻蚀石英光栅的设计与制作 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2010
作者: 冯吉军
收藏 | 浏览/下载：91/0 | 提交时间：2016/11/28
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| 基于深刻蚀光栅的飞秒脉冲压缩装置 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2009
作者: 贾伟
收藏 | 浏览/下载：20/0 | 提交时间：2016/11/28
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| 基于ICP的金属钛深刻蚀 期刊论文
纳米技术与精密工程, 2008
杨梅; 陈兢
收藏 | 浏览/下载：3/0 | 提交时间：2015/11/11
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| 高密度深刻蚀石英光栅分束器的研究 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2008
作者: 王博
收藏 | 浏览/下载：33/0 | 提交时间：2016/11/28
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| 三梁-质量块敏感结构高性能压阻式碰撞加速度计 期刊论文
传感技术学报, 2007, 期号: 08
董培涛; 周伟; 李昕欣; 张屯国; 王跃林; 封松林; 李圣怡
收藏 | 浏览/下载：19/0 | 提交时间：2012/01/06
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| 基于MEMS工艺的轴向磁化永磁微电机结构优化及性能分析 学位论文
博士, 长春光学精密机械与物理所: 中国科学院长春光学精密机械与物理所, 2006
杨杰伟
收藏 | 浏览/下载：16/0 | 提交时间：2012/03/21
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| 微机械折叠波导慢波结构冷测特性的研究 期刊论文
传感技术学报, 2006
朱正鹏; 缪晻; 瞿波; 金玉丰; 冯进军
收藏 | 浏览/下载：3/0 | 提交时间：2015/11/11
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