微机械折叠波导慢波结构冷测特性的研究

doi:10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.118

CORC > 北京大学 > 信息科学技术学院

	微机械折叠波导慢波结构冷测特性的研究; Research on Cold Characteristics of Bulk Micromachined Folded Waveguide Slow-Wave Structure
	朱正鹏 ; 缪晻 ; 瞿波 ; 金玉丰 ; 冯进军
刊名	传感技术学报
	2006
关键词	太赫兹真空电子技术有限积分方法微机电系统
DOI	10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.118
英文摘要	在太赫兹频段,折叠波导行波管因其重要的应用价值已成为一个研究热点.介绍了折叠波导结构和折叠波导行波管,优化设计了一种560GHz行波管器件的结构尺寸,并分别用理论解析方法和软件模拟工具研究了折叠波导慢波结构的冷测特性.文章还对该类折叠波导慢波结构的微加工技术进行了初步的探讨,提出了基于ICP体硅深刻蚀、无电镀铜等组合工艺方案.; 北京大学校科研和教改项目; 国家自然科学基金; 北京市教委科技发展计划项目; 中文核心期刊要目总览(PKU); 中国科学引文数据库(CSCD); 0; 5; 1757-1760; 19
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.pku.edu.cn/handle/20.500.11897/213438]
专题	信息科学技术学院
推荐引用方式 GB/T 7714	朱正鹏,缪晻,瞿波,等. 微机械折叠波导慢波结构冷测特性的研究, Research on Cold Characteristics of Bulk Micromachined Folded Waveguide Slow-Wave Structure[J]. 传感技术学报,2006.
APA	朱正鹏,缪晻,瞿波,金玉丰,&冯进军.(2006).微机械折叠波导慢波结构冷测特性的研究.传感技术学报.
MLA	朱正鹏,et al."微机械折叠波导慢波结构冷测特性的研究".传感技术学报 (2006).