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| 放电气体对ECR-PECVD法制备微晶硅薄膜的影响 期刊论文
材料研究学报, 2013, 期号: 3, 页码: 307-311
程华; 钱永产; 薛军; 吴爱民; 石南林
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| 微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积法制备多晶硅薄膜 期刊论文
核聚变与等离子体物理, 2012, 卷号: 032
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| 基片温度对微晶硅薄膜微观结构和光学性能的影响 期刊论文
材料研究学报, 2011, 期号: 4, 页码: 408-412
程华; 王萍; 崔岩; 吴爱民; 石南林
收藏 | 浏览/下载：9/0 | 提交时间：2012/04/12
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| 用等离子体增强化学气相沉积制备微晶硅薄膜 期刊论文
材料研究学报, 2010, 期号: 5, 页码: 547-549
程华; 张昕; 张广城; 刘汝宏; 吴爱民; 石南林
收藏 | 浏览/下载：14/0 | 提交时间：2012/04/12
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| ECR-PECVD法低温制备微晶硅薄膜及其结构研究 会议论文
TFC’09全国薄膜技术学术研讨会, 中国四川成都, 2009-08-15
作者: 岳红云; 吴爱民; 张学宇; 胡娟; 李廷举
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2019/12/24
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| 同轴双放电腔微波ECR等离子体源增强非平衡磁控溅射制备SiN_x薄膜研究 会议论文
第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会, 中国辽宁大连, 2009-07-20
作者: 王明娥; 陆文琪; 孙文立; 徐军; 董闯
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2019/12/24
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| 氮化硅薄膜的沉积速率和表面形貌 期刊论文
半导体光电, 2009, 卷号: 30, 页码: 558-561
作者: 张广英; 吴爱民; 秦福文; 公发全; 姜辛
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2019/12/24
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| 玻璃衬底沉积氮化硅薄膜性能研究 期刊论文
哈尔滨工程大学学报, 2009, 卷号: 30, 页码: 1331-1334
作者: 张广英; 吴爱民; 秦福文; 姜辛
收藏 | 浏览/下载：3/0 | 提交时间：2019/12/24
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| 多晶硅薄膜ECR-PECVD低温生长结构研究 学位论文
: 大连理工大学, 2008
作者: 邓婉婷
收藏 | 浏览/下载：2/0 | 提交时间：2019/12/27
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| 在升级冶金级硅衬底上用ECR-PECVD沉积多晶硅薄膜 学位论文
: 大连理工大学, 2008
作者: 崔洪涛
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2019/12/27
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