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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 自对准硅化物工艺研究 期刊论文 微电子学, 2004, 卷号: 34, 期号: 6, 页码: 631-635,639 作者:  万春明;  王大海;  徐秋霞 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2010/05/26 超深亚微米  Cmos器件  自对准硅化物  纳米器件  Ni自对准硅化物   高性能42nm栅长CMOS器件 期刊论文 半导体学报, 2003, 卷号: 24, 期号: B05, 页码: 8，153-160 作者:  陈宝钦;  蒋浩杰;  吴德馨;  赵玉印;  徐秋霞 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2010/05/25 42nm栅长  Cmos器件  超陡倒掺杂  灰化工艺  高选择比  高各向异性  Co／ti自对准硅化物