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Large piezoelectricity on Si from highly -oriented PZT thick films via a CMOS-compatible sputtering/RTP process 期刊论文
Materialia, 2019, 卷号: Vol.5, 页码: 100228
作者:  Yingying Wang;  Hongbo Cheng;  Jing Yan;  Ning Chen;  Peng Yan
收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2019/12/17
Large piezoelectricity on Si from highly (001)-oriented PZT thick films via a CMOS-compatible sputtering/RTP process 期刊论文
Materialia, 2019, 卷号: 5
作者:  Wang Y.;  Cheng H.;  Yan J.;  Chen N.;  Yan P.
收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2019/12/11
3D MEMS In-Chip Solenoid Inductor With High Inductance Density for Power MEMS Device 期刊论文
IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS, 2019, 卷号: 40, 页码: 1816-1819
作者:  Xu, Tiantong;  Sun, Jiamian;  Wu, Hanxiao;  Li, Haiwang;  Li, Hanqing
收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2019/12/30
基于湿法预释放结构的MEMS红外光源及其制备方法 专利
专利号: CN201610798783.1, 申请日期: 2018-06-22, 公开日期: 2016-12-07
作者:  陈大鹏;  明安杰;  刘卫兵;  孙西龙;  王玮冰
收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2019/03/05
用于气体传感器的微热板工艺流程与性能对比 期刊论文
仪表技术与传感器, 2018, 页码: 17-20
作者:  李中洲;  余隽;  周君伟;  耿万鑫;  唐祯安
收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2019/12/02
Gas Detection Microsystem With MEMS Gas Sensor and Integrated Circuit 期刊论文
IEEE SENSORS JOURNAL, 2018, 卷号: Vol.18 No.16, 页码: 6765-6773
作者:  Wang, Jin;  Yang, Jiaqi;  Chen, Dongliang;  Jin, Lele;  Li, Yu
收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2019/12/26
Design of a high precision digital interface circuit for capacitive MEMS accelerometers with floating point 期刊论文
INTEGRATION-THE VLSI JOURNAL, 2017, 卷号: 59, 页码: 247-254
作者:  Li, Zongwei;  Xiong, Xingyin;  Liu, Xiong;  Han, Kedu;  Cong, Ning
收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2017/11/24
A CMOS Compatible MEMS Pirani Vacuum Gauge with Monocrystal Silicon Heaters and Heat Sinks 期刊论文
CHIN.PHYS.LETT, 2017
作者:  Zhang LM(张乐民);  Jiao BB(焦斌斌);  Yun SC(云世昌);  Kong YM(孔延梅);  Chen DP(陈大鹏)
收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2018/07/09
mm-SCALE AND MEMS PIEZOELECTRIC ENERGY HARVESTERS POWERING ON-CHIP CMOS TEMPERATURE SENSING FOR IoT APPLICATIONS 会议论文
作者:  Fan, Shiquan;  Zheng, Xu-Qian;  Wei, Ran;  Pulskamp, Jeffrey S.;  Rudy, Ryan
收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2019/11/26
A High-Voltage Closed-Loop SC Interface for a +/- 50 g Capacitive Micro-Accelerometer With 112.4 dB Dynamic Range 期刊论文
IEEE TRANSACTIONS ON CIRCUITS AND SYSTEMS I-REGULAR PAPERS, 2017
Zhao, Meng; Chen, Zhongjian; Lu, Wengao; Zhang, Yacong; Niu, Yuze; Chen, Guangyi
收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2017/12/03

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