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微电子研究所 [2]
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专利 [1]
期刊论文 [1]
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2005 [1]
2004 [1]
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体硅CMOS FinFET结构与特性研究
期刊论文
电子学报, 2005, 卷号: 33, 期号: 8, 页码: 3,1484-1486
作者:
徐秋霞
;
殷华湘
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提交时间:2010/05/26
鱼脊形场效应晶体管
体硅
凹槽器件
新结构
Cmos
一种鱼脊形场效应晶体管的结构和制备方法
专利
专利号: CN1770453, 申请日期: 2004-11-03, 公开日期: 2006-05-10, 2010-11-26
作者:
殷华湘
;
徐秋霞
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提交时间:2010/11/26
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