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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 石英衬底上大晶粒多晶Si薄膜的制备与结构表征 期刊论文 人工晶体学报, 2011, 卷号: 40, 期号: 4, 页码: 872-875 作者:  马蕾[1];  郭延岭[2];  张志刚[3];  江子荣[4];  娄建忠[5] 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/21 高频感应加热化学气相沉积  石英衬底  多晶Si膜  结构特性