| 石英衬底上大晶粒多晶Si薄膜的制备与结构表征 | |
| 马蕾[1]; 郭延岭[2]; 张志刚[3]; 江子荣[4]; 娄建忠[5]; 彭英才[6] | |
| 刊名 | 人工晶体学报
 |
| 2011 | |
| 卷号 | 40期号:4页码:872-875 |
| 关键词 | 高频感应加热化学气相沉积 石英衬底 多晶Si膜 结构特性 |
| ISSN号 | 1000-985X |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5100908 |
| 专题 | 河北大学 |
| 作者单位 | [1]河北大学电子信息工程学院[2]河北大学电子信息工程学院[3]河北大学电子信息工程学院[4]河北大学电子信息工程学院[5]河北大学电子信息工程学院[6]河北大学电子信息工程学院 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 马蕾[1],郭延岭[2],张志刚[3],等. 石英衬底上大晶粒多晶Si薄膜的制备与结构表征[J]. 人工晶体学报,2011,40(4):872-875. |
| APA | 马蕾[1],郭延岭[2],张志刚[3],江子荣[4],娄建忠[5],&彭英才[6].(2011).石英衬底上大晶粒多晶Si薄膜的制备与结构表征.人工晶体学报,40(4),872-875. |
| MLA | 马蕾[1],et al."石英衬底上大晶粒多晶Si薄膜的制备与结构表征".人工晶体学报 40.4(2011):872-875. |
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