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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 MEVVA离子源制备Fe/Si系薄膜的颗粒污染问题 期刊论文 真空, 2006, 卷号: 43, 页码: 21-24 作者:  胡冰;  李晓娜;  王秀敏;  董闯 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/27 颗粒污染 MEVVA源 离子注入 Fe/Si薄膜