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北京大学 [3]
内容类型
其他 [2]
期刊论文 [1]
发表日期
2008 [3]
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SiGe衬底离子注入模拟研究
期刊论文
半导体技术, 2008
李强
;
乔颖
;
杨杰
;
于民
;
王金延
;
黄如
;
张兴
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2015/11/11
锗硅
离子注入
分子动力学
模拟
SiGe衬底离子注入模拟研究
其他
2008-01-01
李强
;
乔颖
;
杨杰
;
于民
;
王金延
;
黄如
;
张兴
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提交时间:2015/11/11
锗硅
离子注入
分子动力学
模拟
锗硅衬底离子注入模拟研究
其他
2008-01-01
李强
;
乔颖
;
杨杰
;
于民
;
王金延
;
黄如
;
张兴
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提交时间:2015/11/12
锗硅衬底 离子注入模拟 分子动力学 SIMS数据
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