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	锗硅衬底离子注入模拟研究
	李强 ; 乔颖 ; 杨杰 ; 于民 ; 王金延 ; 黄如 ; 张兴
	2008
关键词	锗硅衬底 离子注入模拟 分子动力学 SIMS数据
英文摘要	运用分子动力学的研究方法,通过对Si1-xGex衬底建立模型,开发出了针对于Ge和Si1-xGex衬底进行低能离子注入模拟的软件。在不同注入能量条件下,把模拟B离子注入到Ge以及Si1-xGex衬底的结果与SIMS数据进行对比,模型和模拟方法得到了验证。在此基础上,针对不同组分的Si1-xGex衬底进行了离子注入模拟,模拟了Ge的组分的变化对于Si1-xGex衬底离子注入的影响。; 0
语种	中文
内容类型	其他
源URL	[http://ir.pku.edu.cn/handle/20.500.11897/279887]
专题	信息科学技术学院
推荐引用方式 GB/T 7714	李强,乔颖,杨杰,等. 锗硅衬底离子注入模拟研究. 2008-01-01.

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