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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 硅衬底注氮方法制备超薄SiO2栅介质 期刊论文 半导体学报, 2005 许晓燕; 程行之; 黄如; 张兴 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/11/11 超薄栅介质 氮离子注入 击穿特性 ultrathin gate dielectric nitrogen implantation breakdown