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| 高稳定性定量相位显微技术 期刊论文
激光与光电子学进展, 2020, 卷号: 57, 期号: 20
作者:
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| 光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 张璐
收藏 | 浏览/下载：10/0 | 提交时间：2020/08/24
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| 光栅精密位移测量技术发展综述 期刊论文
中国光学, 2019, 卷号: 12, 期号: 04, 页码: 741-752
作者: 高旭; 李舒航; 马庆林; 陈伟
收藏 | 浏览/下载：0/0 | 提交时间：2020/08/24
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| 成像系统倍率高精度测量技术研究 期刊论文
光学学报, 2018, 期号: 07, 页码: 167-176
作者: 董冠极; 唐锋; 王向朝; 冯鹏; 郭福东
收藏 | 浏览/下载：0/0 | 提交时间：2019/09/17
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| 基于衍射光栅的干涉式精密位移测量系统 期刊论文
中国光学, 2017, 页码: 39-50
作者: 吕强; 李文昊; 巴音贺希格; 柏杨; 刘兆武
收藏 | 浏览/下载：21/0 | 提交时间：2018/04/09
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| 微缩投影系统的垂轴放大率测量 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 1
作者: 谢耀; 王丽萍; 郭本银; 王君; 苗亮
收藏 | 浏览/下载：26/0 | 提交时间：2017/09/17
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| 基于Ptychography的极紫外光刻投影物镜波像差检测技术 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者: 方伟
收藏 | 浏览/下载：136/0 | 提交时间：2016/11/28
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| 高NA投影光刻物镜波像差检测技术研究 学位论文
博士: 中国科学院大学, 2015
作者: 李晶
收藏 | 浏览/下载：65/0 | 提交时间：2015/11/30
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| 光纤相移点衍射干涉仪关键技术 期刊论文
红外与激光工程, 2015, 期号: 01, 页码: 254-259
作者: 张宇; 金春水; 马冬梅; 王丽萍
收藏 | 浏览/下载：13/0 | 提交时间：2016/07/06
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| 光纤点衍射干涉仪中球面参考源偏振控制系统的设计 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 11, 页码: 136-142
代晓珂; 金春水; 王丽萍; 于杰
收藏 | 浏览/下载：27/0 | 提交时间：2015/04/17
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