光纤点衍射干涉仪中球面参考源偏振控制系统的设计

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	光纤点衍射干涉仪中球面参考源偏振控制系统的设计
	代晓珂 ; 金春水 ; 王丽萍 ; 于杰
刊名	光学学报
	2014-11-10
期号	11 页码:136-142
关键词	光学设计极紫外光刻光纤点衍射球面参考源偏振控制
中文摘要	极紫外光刻光学检测通常使用光纤点衍射干涉仪,光纤衍射的圆偏振态光束可以提高干涉条纹的对比度、减小衍射球面波的像散,对于提高检测精度有十分重大意义。用穆勒矩阵分析了相位控制型偏振控制器的工作原理,得到只需两个控制通道就可以调控到圆偏振态的结论。设计了光纤点衍射干涉仪球面参考源的偏振控制系统,并用琼斯矩阵分析了光束经过偏振控制系统后的光强变化,得到光强最小时两个控制通道的控制电压。在理论分析基础上搭建了球面参考源的偏振控制系统,获得了圆偏振态所需的控制电压,并将其输入偏振控制器调控得到圆偏振光,实验结果表明此方法可以在不引入额外误差的同时,快速地实现圆偏振态的调节,并且理论计算与实际的误差不超过7.5%,证明了该方法的可行性。
语种	中文
公开日期	2015-05-27
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/43066]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	代晓珂,金春水,王丽萍,等. 光纤点衍射干涉仪中球面参考源偏振控制系统的设计[J]. 光学学报,2014(11):136-142.
APA	代晓珂,金春水,王丽萍,&于杰.(2014).光纤点衍射干涉仪中球面参考源偏振控制系统的设计.光学学报(11),136-142.
MLA	代晓珂,et al."光纤点衍射干涉仪中球面参考源偏振控制系统的设计".光学学报 .11(2014):136-142.