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| 基于湿法预释放结构的MEMS红外光源 专利 专利号: CN201621033986.3, 申请日期: 2017-03-15, 作者: 王玮冰; 陈大鹏; 孙西龙; 刘卫兵; 明安杰 收藏  |  浏览/下载:12/0  |  提交时间:2018/02/05 |
| 基于浓硼自停止腐蚀技术的硅微谐振结构的制备 学位论文 2013, 2013 张豪尔 收藏  |  浏览/下载:3/0  |  提交时间:2016/01/13
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| MEMS热红外光源的设计与制备 学位论文 2013, 2013 李昌政 收藏  |  浏览/下载:1/0  |  提交时间:2016/01/13
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| 高机械灵敏度悬空导电薄膜的制备方法研究 期刊论文 2012 郑志霞; 冯勇建 收藏  |  浏览/下载:4/0  |  提交时间:2016/05/17
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| 三明治电容式MEMS加速度计的器件级真空封装 期刊论文 半导体技术, 2012, 期号: 10, 页码: 790-794+814 蔡梅妮; 车录锋; 林友玲; 周晓峰; 黎晓林; 吴健 收藏  |  浏览/下载:58/0  |  提交时间:2013/02/22
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| 用于器件级真空封装的MEMS加速度传感器的设计与制作 期刊论文 传感器与微系统, 2012, 期号: 12, 页码: 107-110+113 蔡梅妮; 林友玲; 车录锋; 苏荣涛; 周晓峰; 黎晓林 收藏  |  浏览/下载:22/0  |  提交时间:2013/02/22
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| 微创手术式硅微机械加工(MISSM)技术 期刊论文 传感技术学报, 2012, 期号: 7, 页码: 885-890 王家畴; 刘洁丹; 李昕欣 收藏  |  浏览/下载:17/0  |  提交时间:2013/02/22
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| 基于金硅原电池保护电容加速度计的制作 期刊论文 传感器与微系统, 2012, 期号: 1, 页码: 133-136 王辉; 吴燕红; 杨恒 收藏  |  浏览/下载:26/0  |  提交时间:2013/02/22
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| 在绝缘层中嵌入纳米晶的半导体材料制备方法 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN101908472A, 申请日期: 2010-12-08, 公开日期: 2010-12-08 魏星; 王湘; 张苗; 王曦; 林成鲁 收藏  |  浏览/下载:12/0  |  提交时间:2012/01/06 |
| 用于压电和电容微麦克风的体硅腐蚀相关研究 期刊论文 2010, 2010 贾泽; 杨轶; 陈兢; 刘建设; 任天令; 刘理天; JIA Ze; YANG Yi; CHEN Jing; LIU Jian-she; REN Tian-ling; LIU Li-tian 收藏  |  浏览/下载:2/0 |