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金刚石砂轮缓进给磨削单晶硅沟槽研究 期刊论文
金刚石与磨料磨具工程, 2015, 卷号: 35, 页码: 26-32
作者:  艾小忱;  董志刚;  周平;  康仁科;  陈晓
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