金刚石砂轮缓进给磨削单晶硅沟槽研究 | |
艾小忱; 董志刚; 周平; 康仁科; 陈晓; 郭东明 | |
刊名 | 金刚石与磨料磨具工程
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2015 | |
卷号 | 35页码:26-32 |
关键词 | 单晶硅 缓进给沟槽磨削 金刚石砂轮 崩边 |
ISSN号 | 1006-852X |
URL标识 | 查看原文 |
内容类型 | 期刊论文 |
URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4401532 |
专题 | 大连理工大学 |
作者单位 | 大连理工大学 精密与特种加工教育部重点实验室,大连,116024 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 艾小忱,董志刚,周平,等. 金刚石砂轮缓进给磨削单晶硅沟槽研究[J]. 金刚石与磨料磨具工程,2015,35:26-32. |
APA | 艾小忱,董志刚,周平,康仁科,陈晓,&郭东明.(2015).金刚石砂轮缓进给磨削单晶硅沟槽研究.金刚石与磨料磨具工程,35,26-32. |
MLA | 艾小忱,et al."金刚石砂轮缓进给磨削单晶硅沟槽研究".金刚石与磨料磨具工程 35(2015):26-32. |
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